सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या वेगवान विकासामुळे, या उद्योगाचा आवाका झपाट्याने वाढला आहे आणि सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणे अधिक अचूक व गुंतागुंतीची बनत गेली आहेत. सिरॅमिक्समध्ये उच्च कठीणता, उच्च लवचिक गुणांक, उच्च झीज-प्रतिरोध, उच्च उष्णतारोधकता, क्षरण-प्रतिरोध, कमी प्रसरण इत्यादी फायदे असल्यामुळे, त्याचा उपयोग सिलिकॉन पॉलिशिंग मशीन, एपिटॅक्सियल/ऑक्सिडेशन/डिफ्यूजन उष्णता उपचार उपकरणे, लिथोग्राफी मशीन, डिपॉझिशन उपकरणे, सेमीकंडक्टर एचिंग उपकरणे, आयन इम्प्लांटेशन मशीन आणि इतर उपकरणांमध्ये भाग म्हणून केला जाऊ शकतो. त्यामुळे, अचूक सिरॅमिक भागांचे संशोधन, विकास आणि उत्पादन हे सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या विकासावर थेट परिणाम करतात. त्याच्या निर्मितीसाठीच्या तांत्रिक आवश्यकता अधिकाधिक वाढत आहेत.
उच्च शुद्धतेचा ॲल्युमिना, ९९.७%-९९.९% ॲल्युमिना.
उच्च यांत्रिक शक्ती, उच्च झीज-प्रतिरोध, उच्च विद्युतरोधकता, उच्च रासायनिक स्थिरता, चांगली उष्णता-प्रतिरोध आणि गंज-प्रतिरोध. सध्या, सेमीकंडक्टर सिलिकॉन वेफरला ग्राइंड करण्यासाठी सिरॅमिक ग्राइंडिंग डिस्कचा वापर ही सर्वात उत्कृष्ट आणि अत्याधुनिक ग्राइंडिंग पद्धत आहे. कापलेल्या सिलिकॉन वेफरला ग्राइंड करण्यासाठी दुहेरी-बाजूच्या ग्राइंडिंग प्रक्रियेचा वापर केला जातो आणि ग्राइंडिंग प्रक्रियेत (डिस्कचे साहित्य, ग्राइंडिंग द्रव, ग्राइंडिंग दाब आणि ग्राइंडिंग गती इत्यादी) सुधारणा करून ग्राइंड केलेल्या वेफरची गुणवत्ता सुधारली जाते. विशेषतः, कास्ट आयर्न प्लेट्सऐवजी सिरॅमिक प्लेट्सचा वापर केल्याने, वेफरच्या मुख्य पृष्ठभागावर ग्राइंडिंगमुळे होणारे ओरखडे किंवा प्रदूषण टाळता येते, धातूच्या आयनांचा प्रवेश कमी होतो, ज्यामुळे सिलिकॉनची पुढील प्रक्रिया कमी होते, पुढील प्रक्रियेचा (गंजण्याचा) वेळ कमी होतो, उत्पादन कार्यक्षमता सुधारते, आणि सिलिकॉन प्रक्रियेतील नुकसान कमी होऊन सिलिकॉनचा वापर मोठ्या प्रमाणात सुधारतो.
उच्च ॲल्युमिना वेफर पॉलिशिंग प्लेटयाचा उपयोग सेमीकंडक्टर, पेट्रोलियम, रसायन, फोटोव्होल्टेइक, लिक्विड क्रिस्टल आणि इतर उद्योगांमध्ये, जसे की यांत्रिक भाग, इलेक्ट्रॉनिक भाग, मायक्रोवेव्ह इंडक्शन डिस्क, इन्सुलेशन साहित्य आणि इतर भाग, सेमीकंडक्टर उपकरणे, व्हॅक्यूम उपकरणे, लिक्विड क्रिस्टल उत्पादन उपकरणे आणि इतर भागांमध्ये केला जातो. मोठ्या आकाराच्या आणि उच्च शुद्धतेच्या ॲल्युमिना सिरॅमिक्सला सफायर उद्योग आणि सेमीकंडक्टर चिप उद्योगात महत्त्वाचे उपयोजन मूल्य आहे. हे सफायर आणि सेमीकंडक्टर सिलिकॉन वेफर्सच्या केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (CMP) साठी एक प्रमुख आधार आणि उपभोग्य वस्तू आहे. मोठ्या आकाराच्या आणि उच्च शुद्धतेच्या ॲल्युमिना सिरॅमिक्सचा उपयोग एलसीडीसाठी ॲल्युमिना सबस्ट्रेट म्हणून देखील केला जाऊ शकतो.
पोस्ट करण्याची वेळ: २७ जून २०२४